Wehnelt Aperture（光闌）是一種用于電子顯微鏡（特別是掃描電子顯微鏡SEM）中的關(guān)鍵部件，主要用于優(yōu)化電子槍的性能。
一、金屬鉭圓形光闌
1. 基本功能
l 聚焦電子束：通過(guò)靜電場(chǎng)控制從陰極發(fā)射出的電子軌跡，使其更集中
l 限制發(fā)射區(qū)域：只允許中心區(qū)域的電子通過(guò)，提高束流質(zhì)量和穩(wěn)定性
l 調(diào)節(jié)束流強(qiáng)度：配合偏壓使用，可控制發(fā)射電流大小。
2. 材料特性：0.1mm厚的鉭箔（Tantalum Foil制成）。
鉭（Tantalum）是一種高熔點(diǎn)（約3017°C）、耐腐蝕、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的金屬。
在高真空和高溫的電子槍環(huán)境中，鉭具有良好的熱穩(wěn)定性、抗電子轟擊能力、低蒸氣壓、不易污染真空系統(tǒng)。
0.1 毫米厚度薄箔便于精密加工成微小孔徑的光闌，同時(shí)保持結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。
3. “可更換”設(shè)計(jì)的意義
長(zhǎng)期使用中，光闌孔可能因電子轟擊、污染或氧化而劣化，影響電子束質(zhì)量。
可更換式設(shè)計(jì)允許用戶在不更換整個(gè)電子槍組件的情況下，僅替換光闌，降低成本并簡(jiǎn)化維護(hù)。
4. 適用設(shè)備
適用于 Amray 和 Philips（飛利浦）品牌的部分型號(hào)電子顯微鏡。
這兩個(gè)品牌在20世紀(jì)中后期是SEM領(lǐng)域的重要制造商（Amray 后被收購(gòu)，Philips 的電鏡業(yè)務(wù)后成為 FEI 公司，現(xiàn)屬 Thermo Fisher Scientific）。
二、Strip Aperture（條形光闌）
在一條金屬帶上加工出多個(gè)不同尺寸或形狀的孔即“multihole”，多孔設(shè)計(jì)。
由鉑銥合金（95：5）制成，這種合金具有如下優(yōu)勢(shì)：
l 極高的化學(xué)惰性：幾乎不氧化、不腐蝕，即使在高真空或高溫下也極其穩(wěn)定；
l 高熔點(diǎn)與機(jī)械強(qiáng)度：比純鉑更硬、更耐磨，適合精密微加工；
l 低蒸氣壓：不會(huì)在真空系統(tǒng)中釋放氣體，避免污染；
l 抗電子束損傷：長(zhǎng)期受電子轟擊不易變形或產(chǎn)生污染。
1、 日立(HITACHI)光闌，41.0 X 4.0 X 0.1mm，4孔
2、日本電子(JEOL)光闌 9.0 X 2.35 X 0.1mm，3孔
貨號(hào) | 產(chǎn)品描述 | 規(guī)格 |
49020-Ta | 飛利浦光闌Philips WEHNELT APERTURE, 200u HOLE | 個(gè) |
49030-Ta | Amray WEHNELT APERTURE,300u HOLE | 個(gè) |
49050-Ta | WEHNELT APERTURE,500u HOLE | 個(gè) |
49075-Ta | WEHNELT APERTURE,750u HOLE | 個(gè) |
49100-Ta | WEHNELT APERTURE,1000u HOLE | 個(gè) |
49211-01 | 日立光闌HITACHI STRIP APERTURE, 10-10-20-70um | 個(gè) |
49211-03 | HITACHI STRIP APERTURE,70-70-50-50m | 個(gè) |
49211-05 | HITACHI STRIP APERTURE,10-50-100-200um | 個(gè) |
49212-01 | HITACHI STRIP APERTURE,20-20-30-30um | 個(gè) |
49212-02 | HITACH STRIP APERTURE,30-70-100-200um | 個(gè) |
49212-03 | HITACH STRIP APERTURE,10-30-50-70um | 個(gè) |
49210-01 | 日本電子光闌JEOL STRIP APERTURE, 10-30-80um | 個(gè) |
49210-02 | JEOL STRIP APERTURE,10-20-100um | 個(gè) |
49210-03 | JEOL STRIP APERTURE,30-50-150um | 個(gè) |
49210-04 | JEOL STRIP APERTURE,100-200-300um | 個(gè) |
